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伯东 Pfeiffer 移动型检漏仪 ASM 390, ASM 392 全新上市!
上海伯东德国 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 全新上市!ASM 39X 系列是针对大型检漏部件设计研发, 检漏仪配有干式非接触式前级真空泵和涡轮分子泵, 完全符合 Semi S2 标准. 适用于半导体和平板显示器行业以及其他要求极高的应用. ASM 390, ASM 392 对氦气的快速抽空能力和较短的响应时间使其成为同类型检漏仪中的佼佼者!
上海伯东检漏仪 ASM 390
上海伯东 Pfeiffer 移动型检漏仪 ASM 390, ASM 392 与 ASM 380 技术参数对比:

 型号

ASM 390

ASM 392

ASM 380

 检测气体

4He, 3He, H2

 最小检测漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8  mbar l/s

 对氦气的抽速

10 l/s

25 l/s,内置2台分子泵

7 l/s

 前级泵抽速

35 m3/h

 进气口最大压力

20 mbar

20 mbar

15 mbar

 无校准的启动时间(20°C)

2 min

2 min

< 4.5 min

 进气口

DN 40 ISO-KF

 响应时间

< 1 s

 Interface, 选配

RS-232, I/O, Ethernet

 噪音

≤ 55 dB (A)

≤ 55 dB (A)

53 dB (A)

 重量

125 kg

130 kg

110 kg

 尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

1072 x 455 x 1025 mm

1065 X 455 X 1025 mm

* 更详细的移动型检漏仪 ASM 390 介绍, 欢迎拨打客服热线:021-5046-3511, 021-5046-1322

上海伯东 Pfeiffer
上海伯东主营真空品牌: 德国 Pfeiffer 真空设备; 美国 Brooks Polycold 冷冻机; 美国 KRI 考夫曼离子源; 美国 HVA 真空闸阀:美国 inTEST(Temptronic) 高低温循环试验机; 日本 NS 离子蚀刻机等。
上海伯东: 叶女士                             台湾伯东: 王女士
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