涡轮分子泵扫描电镜 SEM 抽真空|伯东真空

涡轮分子泵扫描电镜 SEM 抽真空
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涡轮分子泵扫描电镜 SEM 抽真空
上海伯东德国 Pfeiffer Hipace Plus 系列涡轮分子泵广泛集成在扫描电子显微镜 SEM 设备中.
扫描电子显微镜 SEM, 简称扫描电镜原理是利用电子束扫描物体表面实现成像. 空气的存在会使的电子束变型, 影响扫描效果,因此要抽真空, 高效的涡轮分子泵有利于保持样品室的清洁度; 电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效, 所以除了在使用 SEM 时需要在真空环境下, 平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空室.
HiPace Plus 系列涡轮分子泵是为扫描电子显微镜 (扫描电镜 SEM) 和高端质谱行业量身定做的产品, 分子泵低振动和低磁场设计, 广泛集成在泰思肯 TESCAN, 蔡司 ZEISS , 日立 Hitachi, 日本电子 Jeol 等分析仪器设备里.
Pfeiffer Hipace Plus 涡轮分子泵目前在售型号 Hipace 300 Plus 和 Hipace 700 Plus,
以 Hipace 300 举例,主要技术参数如下:

型号	Hipace 300			Hipace 300 Plus
允许环境磁场	≤ 5.5 mT	≤ 5.5 mT	≤ 5.5 mT	≤ 3 mT	≤ 3 mT		≤ 3 mT
最大允许磁场	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT	5.5 mT		5.5 mT
噪音	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)	≤50 dB(A)		≤50 dB(A)
安装方式	任意位置安装			垂直,法兰向上
进气口	DN 100 ISO-K	DN 100 CF-F	DN 100 ISO-F	DN 100 ISO-K		DN 100 ISO-K	DN 100 ISO-K
极限真空度	<1X10^-7 hPa	< 5X10^-10 hPa	< 1X10^-7 hPa	<1X10^-7 hPa		< 5X10^-10 hPa	< 1X10^-7 hPa
Ar 抽速	255 l/s	255 l/s	255 l/s	255 l/s		255 l/s	255 l/s
H2 抽速	220 l/s	220 l/s	220 l/s	220 l/s		220 l/s	220 l/s
He 抽速	255 l/s	255 l/s	255 l/s	255 l/s		255 l/s	255 l/s
N2 抽速	260 l/s	260 l/s	260 l/s	260 l/s		260 l/s	260 l/s
Ar 压缩比	> 1X10¹¹
H2 压缩比	9X10⁵
He 压缩比	> 1X10⁸
N2 压缩比	> 1X10¹¹
分子泵全速时 Ar 气体流量	7 hPa l/s	7 hPa l/s	7 hPa l/s	2 hPa l/s		2 hPa l/s	2 hPa l/s
分子泵全速时 He 气体流量	10 hPa l/s	10 hPa l/s	10 hPa l/s	8 hPa l/s		8 hPa l/s	8 hPa l/s
分子泵全速时 H2 气体流量	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s		> 14 hPa l/s	> 14 hPa l/s
分子泵全速时 N2 气体流量	14 hPa l/s	14 hPa l/s	14 hPa l/s	5 hPa l/s		5 hPa l/s	5 hPa l/s
Ar 前级真空	25 hPa	25 hPa	25 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa
H2 前级真空	8,5 hPa	8,5 hPa	8,5 hPa	8,5 hPa		8,5 hPa	8,5 hPa
He 前级真空	20 hPa	20 hPa	20 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa
N2 前级真空	20 hPa	20 hPa	20 hPa	15 hPa		15 hPa	15 hPa

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