霍尔离子源 eH 1000阅读数: 4611
KRI 离子源 EH 1020 F 产品优点：
EH 1020 F 使用更大功率之阳极电源控制器，可提供更高的离子束电流，以增加更大的使用范围。相较其它同型离子源，增加20%的离子束电流，及40%的阴极电压。
模组化的设计，随插即用。容易维护，体积缩小30%。
低温制程。
更宽的离子束使用范围，适用于大型镀膜机。
整合型的电源控制器。
KRI 离子源 EH 1020F 耐久磁性离子源 (灯丝型)的特点
无栅极设计, 针对低能量制程
单一灯丝, 针对离子化和中和性设计
阳极模组化设计
不锈钢, 相对阳极
不锈钢与石墨材质气体反射器
MFC气体质流量控制器
直径英制一吋bolt-type feedthroughs两组1. 3-conductor electrical feedthrough
18吋长 in-vacuum electrical cable 2. 1/4 吋 OD gas tubing feedthrough
18吋长 in-vacuum flex gas line
EH 1000F 电源供应器/控制器与读取装置
Front panel 监控系统
Soft-start 阴极
900 Watt, 灯丝电源与发射控制器
阳极8A, 300V , 可调整范围 50-300V
限定电流式电路保护装置
离子束自动中和装置
规格: 200/240V, 20A, 单向, 50/60Hz
20尺长, 外部电源供应器连接线
备用灯丝(10支)
离子源安装托架
[选购]
阳极式水冷组
KRI 离子源 EH1020 F 离子能量分布
KRI 霍尔离子源 eH 1000 技术参数:
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型号 |
eH1000 / eH1000L / eH1000x02/ eH1000LEHO |
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供电 |
DC magnetic confinement |
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- 电压 |
40-300V VDC |
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- 离子源直径 |
~ 5 cm |
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- 阳极结构 |
模块化 |
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电源控制 |
eHx-30010A |
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配置 |
- |
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- 阴极中和器 |
Filament, Sidewinder Filament or Hollow Cathode |
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- 离子束发散角度 |
> 45° (hwhm) |
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- 阳极 |
标准或 Grooved |
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- 水冷 |
前板水冷 |
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- 底座 |
移动或快接法兰 |
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- 高度 |
4.0' |
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- 直径 |
5.7' |
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- 加工材料 |
金属 |
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- 工艺气体 |
Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors |
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- 安装距离 |
10-36” |
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- 自动控制 |
控制4种气体 |
* 可选: 可调角度的支架; Sidewinder